Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny w Szczecinie

Wydział Technologii i Inżynierii Chemicznej - Inżynieria Materiałów i Nanomateriałów (S1)

Sylabus przedmiotu Technologia cienkich warstw:

Informacje podstawowe

Kierunek studiów Inżynieria Materiałów i Nanomateriałów
Forma studiów studia stacjonarne Poziom pierwszego stopnia
Tytuł zawodowy absolwenta inżynier
Obszary studiów charakterystyki PRK, kompetencje inżynierskie PRK
Profil ogólnoakademicki
Moduł
Przedmiot Technologia cienkich warstw
Specjalność przedmiot wspólny
Jednostka prowadząca Katedra Technologii Chemicznej Nieorganicznej i Inżynierii Środowiska
Nauczyciel odpowiedzialny Dariusz Moszyński <Dariusz.Moszynski@zut.edu.pl>
Inni nauczyciele
ECTS (planowane) 3,0 ECTS (formy) 3,0
Forma zaliczenia egzamin Język polski
Blok obieralny 3 Grupa obieralna 1

Formy dydaktyczne

Forma dydaktycznaKODSemestrGodzinyECTSWagaZaliczenie
wykładyW6 30 2,00,50egzamin
laboratoriaL6 15 1,00,50zaliczenie

Wymagania wstępne

KODWymaganie wstępne
W-1brak

Cele przedmiotu

KODCel modułu/przedmiotu
C-1Poznanie technik otrzymywania cienkich warstw z materiałów organicznych i nieorganicznych oraz metod pomiaru grubości i analizy morfologii ich powierzchni.
C-2Zapoznanie studentów z aparaturą pomiarową i preparacyjną stosowaną przy otrzymywaniu cienkich warstw

Treści programowe z podziałem na formy zajęć

KODTreść programowaGodziny
laboratoria
T-L-1Otrzymywanie cienkich warstw metalicznych metodą napylania jarzeniowego.3
T-L-2Proces pasywacji do wytwarzania cienkich warstw na różnych metalach3
T-L-3Preparatyka cienkich warstw metodą CVD3
T-L-4Badania cienkich warstw metodą spektroskopii elektronowych3
T-L-5Określenie degradacji cienkich warstw metodą XPS3
15
wykłady
T-W-1Metody otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali.6
T-W-2Naparowywanie próżniowe.2
T-W-3Procesy wyładowania jarzeniowego.2
T-W-4Procesy chemiczne z fazy gazowej.4
T-W-5Procesy chemiczne z fazy ciekłej.4
T-W-6Kryteria wyboru odpowiedniej techniki do specyficznych zastosowań.4
T-W-7Przegląd metod pomiarowych grubości oraz kontroli morfologii powierzchni cienkich warstw.8
30

Obciążenie pracą studenta - formy aktywności

KODForma aktywnościGodziny
laboratoria
A-L-1uczestnictwo w zajęciach15
A-L-2Przygotowywanie raportów10
A-L-3Studiowanie literatury5
30
wykłady
A-W-1uczestnictwo w zajęciach30
A-W-2Konsultacje z prowadzącym4
A-W-3Przygotowanie do egzaminu20
A-W-4Studiowanie literatury4
A-W-5Egazamin2
60

Metody nauczania / narzędzia dydaktyczne

KODMetoda nauczania / narzędzie dydaktyczne
M-1Wykład informacyjny
M-2Metoda przypadków
M-3Ćwiczenia laboratoryjne

Sposoby oceny

KODSposób oceny
S-1Ocena podsumowująca: egzamin
S-2Ocena podsumowująca: Ocena sprawozdania
S-3Ocena formująca: ocena aktywności podczas ćwiczeń

Zamierzone efekty uczenia się - wiedza

Zamierzone efekty uczenia sięOdniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówOdniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaOdniesienie do efektów uczenia się prowadzących do uzyskania tytułu zawodowego inżynieraCel przedmiotuTreści programoweMetody nauczaniaSposób oceny
IMiN_1A_C34a_W01
Student ma wiedzę z zakresu budowy materii oraz mechanizmów procesów chemicznych i ich wykorzystania przy wytwarzaniu nowoczesnych materiałów w postaci cienkich warstw.
IMiN_1A_W03C-1T-W-2, T-W-3, T-W-1M-2, M-1S-1
IMiN_1A_C34a_W02
Student zna zasady funkcjonowania i użytkowania aparatury, urządzeń i systemów wykorzystujących metody technologii cienkich warstw
IMiN_1A_W03C-2T-W-6, T-W-4, T-W-5, T-W-7M-1S-1

Zamierzone efekty uczenia się - umiejętności

Zamierzone efekty uczenia sięOdniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówOdniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaOdniesienie do efektów uczenia się prowadzących do uzyskania tytułu zawodowego inżynieraCel przedmiotuTreści programoweMetody nauczaniaSposób oceny
IMiN_1A_C34a_U01
Student potrafi zaplanować procesy technologiczne oraz wykorzystywać eksperymentalne i teoretyczne metody w zakresie technologii otrzymywania cienkich warstw.
IMiN_1A_U08C-1T-L-2, T-L-3, T-L-1M-3S-3, S-2
IMiN_1A_C34a_U02
Absolwent potrafi scharakteryzować strukturę oraz określić podstawowe właściwości materiałów wykonanych metodami cienkowarstowymi
IMiN_1A_U07C-2T-L-4, T-L-5M-3S-2, S-3

Kryterium oceny - wiedza

Efekt uczenia sięOcenaKryterium oceny
IMiN_1A_C34a_W01
Student ma wiedzę z zakresu budowy materii oraz mechanizmów procesów chemicznych i ich wykorzystania przy wytwarzaniu nowoczesnych materiałów w postaci cienkich warstw.
2,0
3,0Student ma wiedzę na temat metod otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali. Wiedza ta w odniesieniu do treści programowych przedmiotu jest w przedziale [60%, 65%]
3,5
4,0
4,5
5,0
IMiN_1A_C34a_W02
Student zna zasady funkcjonowania i użytkowania aparatury, urządzeń i systemów wykorzystujących metody technologii cienkich warstw
2,0
3,0Student ma wiedzę na temat aparatury i urządzeń do otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali. Wiedza ta w odniesieniu do treści programowych przedmiotu jest w przedziale [60%, 65%]
3,5
4,0
4,5
5,0

Kryterium oceny - umiejętności

Efekt uczenia sięOcenaKryterium oceny
IMiN_1A_C34a_U01
Student potrafi zaplanować procesy technologiczne oraz wykorzystywać eksperymentalne i teoretyczne metody w zakresie technologii otrzymywania cienkich warstw.
2,0
3,0Student posiada umiejętności związane z metodami otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali. Umiejętności te w odniesieniu do treści programowych przedmiotu są w przedziale [60%, 65%]
3,5
4,0
4,5
5,0
IMiN_1A_C34a_U02
Absolwent potrafi scharakteryzować strukturę oraz określić podstawowe właściwości materiałów wykonanych metodami cienkowarstowymi
2,0
3,0Student posiada umiejętności związane z metodami charakteryzacji cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali. Umiejętności te w odniesieniu do treści programowych przedmiotu są w przedziale [60%, 65%]
3,5
4,0
4,5
5,0

Literatura podstawowa

  1. Anna Zawadzka, Cienkie warstwy i nanostruktury cienkowarstwowe eksperymentalne metody wytwarzania i badania właściwości, Wydawnictwo Naukowe UMK, Toruń, 2016
  2. Andrzej Cygański, Metody spektroskopowe w chemii analitycznej, Wydawnictwo WNT, Warszawa, 2014

Treści programowe - laboratoria

KODTreść programowaGodziny
T-L-1Otrzymywanie cienkich warstw metalicznych metodą napylania jarzeniowego.3
T-L-2Proces pasywacji do wytwarzania cienkich warstw na różnych metalach3
T-L-3Preparatyka cienkich warstw metodą CVD3
T-L-4Badania cienkich warstw metodą spektroskopii elektronowych3
T-L-5Określenie degradacji cienkich warstw metodą XPS3
15

Treści programowe - wykłady

KODTreść programowaGodziny
T-W-1Metody otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali.6
T-W-2Naparowywanie próżniowe.2
T-W-3Procesy wyładowania jarzeniowego.2
T-W-4Procesy chemiczne z fazy gazowej.4
T-W-5Procesy chemiczne z fazy ciekłej.4
T-W-6Kryteria wyboru odpowiedniej techniki do specyficznych zastosowań.4
T-W-7Przegląd metod pomiarowych grubości oraz kontroli morfologii powierzchni cienkich warstw.8
30

Formy aktywności - laboratoria

KODForma aktywnościGodziny
A-L-1uczestnictwo w zajęciach15
A-L-2Przygotowywanie raportów10
A-L-3Studiowanie literatury5
30
(*) 1 punkt ECTS, odpowiada około 30 godzinom aktywności studenta

Formy aktywności - wykłady

KODForma aktywnościGodziny
A-W-1uczestnictwo w zajęciach30
A-W-2Konsultacje z prowadzącym4
A-W-3Przygotowanie do egzaminu20
A-W-4Studiowanie literatury4
A-W-5Egazamin2
60
(*) 1 punkt ECTS, odpowiada około 30 godzinom aktywności studenta
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty uczenia sięIMiN_1A_C34a_W01Student ma wiedzę z zakresu budowy materii oraz mechanizmów procesów chemicznych i ich wykorzystania przy wytwarzaniu nowoczesnych materiałów w postaci cienkich warstw.
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówIMiN_1A_W03Absolwent zna i rozumie w zaawansowanym stopniu wybrane zagadnienia dotyczące materiałów i nanomateriałów: budowa, synteza, przetwarzania, analiza struktury i właściwości
Cel przedmiotuC-1Poznanie technik otrzymywania cienkich warstw z materiałów organicznych i nieorganicznych oraz metod pomiaru grubości i analizy morfologii ich powierzchni.
Treści programoweT-W-2Naparowywanie próżniowe.
T-W-3Procesy wyładowania jarzeniowego.
T-W-1Metody otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali.
Metody nauczaniaM-2Metoda przypadków
M-1Wykład informacyjny
Sposób ocenyS-1Ocena podsumowująca: egzamin
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0
3,0Student ma wiedzę na temat metod otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali. Wiedza ta w odniesieniu do treści programowych przedmiotu jest w przedziale [60%, 65%]
3,5
4,0
4,5
5,0
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty uczenia sięIMiN_1A_C34a_W02Student zna zasady funkcjonowania i użytkowania aparatury, urządzeń i systemów wykorzystujących metody technologii cienkich warstw
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówIMiN_1A_W03Absolwent zna i rozumie w zaawansowanym stopniu wybrane zagadnienia dotyczące materiałów i nanomateriałów: budowa, synteza, przetwarzania, analiza struktury i właściwości
Cel przedmiotuC-2Zapoznanie studentów z aparaturą pomiarową i preparacyjną stosowaną przy otrzymywaniu cienkich warstw
Treści programoweT-W-6Kryteria wyboru odpowiedniej techniki do specyficznych zastosowań.
T-W-4Procesy chemiczne z fazy gazowej.
T-W-5Procesy chemiczne z fazy ciekłej.
T-W-7Przegląd metod pomiarowych grubości oraz kontroli morfologii powierzchni cienkich warstw.
Metody nauczaniaM-1Wykład informacyjny
Sposób ocenyS-1Ocena podsumowująca: egzamin
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0
3,0Student ma wiedzę na temat aparatury i urządzeń do otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali. Wiedza ta w odniesieniu do treści programowych przedmiotu jest w przedziale [60%, 65%]
3,5
4,0
4,5
5,0
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty uczenia sięIMiN_1A_C34a_U01Student potrafi zaplanować procesy technologiczne oraz wykorzystywać eksperymentalne i teoretyczne metody w zakresie technologii otrzymywania cienkich warstw.
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówIMiN_1A_U08Absolwent potrafi zaplanować i zrealizować procesy wytwarzania wybranych materiałów i nanomateriałów
Cel przedmiotuC-1Poznanie technik otrzymywania cienkich warstw z materiałów organicznych i nieorganicznych oraz metod pomiaru grubości i analizy morfologii ich powierzchni.
Treści programoweT-L-2Proces pasywacji do wytwarzania cienkich warstw na różnych metalach
T-L-3Preparatyka cienkich warstw metodą CVD
T-L-1Otrzymywanie cienkich warstw metalicznych metodą napylania jarzeniowego.
Metody nauczaniaM-3Ćwiczenia laboratoryjne
Sposób ocenyS-3Ocena formująca: ocena aktywności podczas ćwiczeń
S-2Ocena podsumowująca: Ocena sprawozdania
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0
3,0Student posiada umiejętności związane z metodami otrzymywania cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali. Umiejętności te w odniesieniu do treści programowych przedmiotu są w przedziale [60%, 65%]
3,5
4,0
4,5
5,0
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty uczenia sięIMiN_1A_C34a_U02Absolwent potrafi scharakteryzować strukturę oraz określić podstawowe właściwości materiałów wykonanych metodami cienkowarstowymi
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówIMiN_1A_U07Absolwent potrafi ujawnić, scharakteryzować strukturę oraz określić podstawowe właściwości materiałów i nanomateriałów
Cel przedmiotuC-2Zapoznanie studentów z aparaturą pomiarową i preparacyjną stosowaną przy otrzymywaniu cienkich warstw
Treści programoweT-L-4Badania cienkich warstw metodą spektroskopii elektronowych
T-L-5Określenie degradacji cienkich warstw metodą XPS
Metody nauczaniaM-3Ćwiczenia laboratoryjne
Sposób ocenyS-2Ocena podsumowująca: Ocena sprawozdania
S-3Ocena formująca: ocena aktywności podczas ćwiczeń
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0
3,0Student posiada umiejętności związane z metodami charakteryzacji cienkich warstw z materiałów nieorganicznych, organicznych i metali. Umiejętności te w odniesieniu do treści programowych przedmiotu są w przedziale [60%, 65%]
3,5
4,0
4,5
5,0