Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny w Szczecinie

Wydział Inżynierii Mechanicznej i Mechatroniki - Mechatronika (S1)

Sylabus przedmiotu Podstawy mikro- i nanotechnologii:

Informacje podstawowe

Kierunek studiów Mechatronika
Forma studiów studia stacjonarne Poziom pierwszego stopnia
Tytuł zawodowy absolwenta inżynier
Obszary studiów nauk technicznych, studiów inżynierskich
Profil ogólnoakademicki
Moduł
Przedmiot Podstawy mikro- i nanotechnologii
Specjalność przedmiot wspólny
Jednostka prowadząca Instytut Technologii Mechanicznej
Nauczyciel odpowiedzialny Andrzej Bodnar <Andrzej.Bodnar@zut.edu.pl>
Inni nauczyciele
ECTS (planowane) 1,0 ECTS (formy) 1,0
Forma zaliczenia zaliczenie Język polski
Blok obieralny Grupa obieralna

Formy dydaktyczne

Forma dydaktycznaKODSemestrGodzinyECTSWagaZaliczenie
wykładyW2 15 1,01,00zaliczenie

Wymagania wstępne

KODWymaganie wstępne
W-1Ukończony kurs fizyki i podstaw nauki o materiałach

Cele przedmiotu

KODCel modułu/przedmiotu
C-1Przekazanie wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz poznania praw istotnych w mikroświecie.
C-2Student potrafi scharakteryzować poszczególne mikrotechnologie i obszary ich zastosowań.

Treści programowe z podziałem na formy zajęć

KODTreść programowaGodziny
wykłady
T-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.2
T-W-2Metody litograficzne; epitaksja; RIE; DRIE. Metody dla ubogich.2
T-W-3Elementy i mikroukłady optyczne; budowa, zastosowania. LIGA.3
T-W-4MEMS – podstawowe elementy, mikro przekładnie, mikro napędy, elementy technologii wytwarzania, zastosowania.3
T-W-5Układy mikrohydrauliki. Pakowanie i obudowy mikroukładów. Mikroukłady pomiarowe i testujące.2
T-W-6Nanotechnologia – przykłady, metody, obszary zastosowań.2
T-W-7Rozwiązanie testu. Trendy rozwojowe w mikro- i nanotechnologii.1
15

Obciążenie pracą studenta - formy aktywności

KODForma aktywnościGodziny
wykłady
A-W-1Uczestnictwo w zajęciach.15
A-W-2Analiza literatury w języku polskim i językach obcych.1
A-W-3Powtarzanie i analiza materiału. Przygotowanie do zaliczenia.13
A-W-4Konsultacje.1
30

Metody nauczania / narzędzia dydaktyczne

KODMetoda nauczania / narzędzie dydaktyczne
M-1Wykład uzupełniany prezentacjami i ilustrowany przezroczami.

Sposoby oceny

KODSposób oceny
S-1Ocena podsumowująca: Test typu MRQ.

Zamierzone efekty kształcenia - wiedza

Zamierzone efekty kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówOdniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia prowadzących do uzyskania tytułu zawodowego inżynieraCel przedmiotuTreści programoweMetody nauczaniaSposób oceny
ME_1A_B16_W01
Przekazanie studentom wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz praw istotnych w mikroświecie (efekt skali).
ME_1A_W05T1A_W05C-1T-W-1, T-W-2, T-W-3, T-W-4, T-W-5, T-W-6M-1S-1

Zamierzone efekty kształcenia - umiejętności

Zamierzone efekty kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówOdniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia prowadzących do uzyskania tytułu zawodowego inżynieraCel przedmiotuTreści programoweMetody nauczaniaSposób oceny
ME_1A_B16_U01
Student potrafi scharakteryzować technologie stosowane przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS w tym technologie dla ubogich.
ME_1A_U01T1A_U01C-2T-W-1, T-W-2, T-W-3, T-W-4, T-W-5, T-W-6, T-W-7M-1S-1

Kryterium oceny - wiedza

Efekt kształceniaOcenaKryterium oceny
ME_1A_B16_W01
Przekazanie studentom wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz praw istotnych w mikroświecie (efekt skali).
2,0Student w teście miał poniżej 58% odpowiedzi poprawnych.
3,0Student opanował podstawową wiedzę z zakresu przedmiotu. W teście udzielił 59-67% odpowiedzi poprawnych.
3,5W teście udzielił 68-74% odpowiedzi poprawnych.
4,0Student dobrze opanował wiedzę przekazaną na wykładach. W teście udzielił ponad 75-82% odpowiedzi poprawnych.
4,5W teście udzielił 83-91% odpowiedzi poprawnych.
5,0Student zna szczegółowo wszystkie technologie przedstawione na wykładach. W teście udzielił ponad 92% odpowiedzi poprawnych.

Kryterium oceny - umiejętności

Efekt kształceniaOcenaKryterium oceny
ME_1A_B16_U01
Student potrafi scharakteryzować technologie stosowane przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS w tym technologie dla ubogich.
2,0Student nie potrafi opisać technologii stosowanych przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych lub MEMS.
3,0
3,5
4,0
4,5
5,0

Literatura podstawowa

  1. Bhushan Bharat (Red.), Springer Handbook of Nanotechnology, Springer, New York, 2007, 2
  2. Gianchandani Y.B., Tabata O., Zappe H. (Red.), Comprehensive Microsystems, Elsevier, Berlin, 2008
  3. Gad-el-Hak M. (Red.), The MEMS Handbook, CRC Press, Taylor & Francis Group, Boca Raton, 2006, 2

Treści programowe - wykłady

KODTreść programowaGodziny
T-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.2
T-W-2Metody litograficzne; epitaksja; RIE; DRIE. Metody dla ubogich.2
T-W-3Elementy i mikroukłady optyczne; budowa, zastosowania. LIGA.3
T-W-4MEMS – podstawowe elementy, mikro przekładnie, mikro napędy, elementy technologii wytwarzania, zastosowania.3
T-W-5Układy mikrohydrauliki. Pakowanie i obudowy mikroukładów. Mikroukłady pomiarowe i testujące.2
T-W-6Nanotechnologia – przykłady, metody, obszary zastosowań.2
T-W-7Rozwiązanie testu. Trendy rozwojowe w mikro- i nanotechnologii.1
15

Formy aktywności - wykłady

KODForma aktywnościGodziny
A-W-1Uczestnictwo w zajęciach.15
A-W-2Analiza literatury w języku polskim i językach obcych.1
A-W-3Powtarzanie i analiza materiału. Przygotowanie do zaliczenia.13
A-W-4Konsultacje.1
30
(*) 1 punkt ECTS, odpowiada około 30 godzinom aktywności studenta
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty kształceniaME_1A_B16_W01Przekazanie studentom wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz praw istotnych w mikroświecie (efekt skali).
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówME_1A_W05Orientuje się w obecnym stanie oraz trendach rozwojowych w obszarach elektroniki, informatyki i budowy maszyn.
Odniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaT1A_W05ma podstawową wiedzę o trendach rozwojowych z zakresu dziedzin nauki i dyscyplin naukowych, właściwych dla studiowanego kierunku studiów
Cel przedmiotuC-1Przekazanie wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz poznania praw istotnych w mikroświecie.
Treści programoweT-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.
T-W-2Metody litograficzne; epitaksja; RIE; DRIE. Metody dla ubogich.
T-W-3Elementy i mikroukłady optyczne; budowa, zastosowania. LIGA.
T-W-4MEMS – podstawowe elementy, mikro przekładnie, mikro napędy, elementy technologii wytwarzania, zastosowania.
T-W-5Układy mikrohydrauliki. Pakowanie i obudowy mikroukładów. Mikroukłady pomiarowe i testujące.
T-W-6Nanotechnologia – przykłady, metody, obszary zastosowań.
Metody nauczaniaM-1Wykład uzupełniany prezentacjami i ilustrowany przezroczami.
Sposób ocenyS-1Ocena podsumowująca: Test typu MRQ.
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0Student w teście miał poniżej 58% odpowiedzi poprawnych.
3,0Student opanował podstawową wiedzę z zakresu przedmiotu. W teście udzielił 59-67% odpowiedzi poprawnych.
3,5W teście udzielił 68-74% odpowiedzi poprawnych.
4,0Student dobrze opanował wiedzę przekazaną na wykładach. W teście udzielił ponad 75-82% odpowiedzi poprawnych.
4,5W teście udzielił 83-91% odpowiedzi poprawnych.
5,0Student zna szczegółowo wszystkie technologie przedstawione na wykładach. W teście udzielił ponad 92% odpowiedzi poprawnych.
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty kształceniaME_1A_B16_U01Student potrafi scharakteryzować technologie stosowane przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS w tym technologie dla ubogich.
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówME_1A_U01Potrafi pozyskiwać informacje z literatury, baz danych i innych źródeł. Potrafi integrować uzyskane informacje, dokonywać ich interpretacji, a także wyciągać wnioski oraz formułować i uzasadniać opinie.
Odniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaT1A_U01potrafi pozyskiwać informacje z literatury, baz danych oraz innych właściwie dobranych źródeł, także w języku angielskim lub innym języku obcym uznawanym za język komunikacji międzynarodowej w zakresie studiowanego kierunku studiów; potrafi integrować uzyskane informacje, dokonywać ich interpretacji, a także wyciągać wnioski oraz formułować i uzasadniać opinie
Cel przedmiotuC-2Student potrafi scharakteryzować poszczególne mikrotechnologie i obszary ich zastosowań.
Treści programoweT-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.
T-W-2Metody litograficzne; epitaksja; RIE; DRIE. Metody dla ubogich.
T-W-3Elementy i mikroukłady optyczne; budowa, zastosowania. LIGA.
T-W-4MEMS – podstawowe elementy, mikro przekładnie, mikro napędy, elementy technologii wytwarzania, zastosowania.
T-W-5Układy mikrohydrauliki. Pakowanie i obudowy mikroukładów. Mikroukłady pomiarowe i testujące.
T-W-6Nanotechnologia – przykłady, metody, obszary zastosowań.
T-W-7Rozwiązanie testu. Trendy rozwojowe w mikro- i nanotechnologii.
Metody nauczaniaM-1Wykład uzupełniany prezentacjami i ilustrowany przezroczami.
Sposób ocenyS-1Ocena podsumowująca: Test typu MRQ.
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0Student nie potrafi opisać technologii stosowanych przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych lub MEMS.
3,0
3,5
4,0
4,5
5,0